MM3A-EM微納操縱儀（Micromanipulator）體積小，安裝在SEM/FIB的腔室內(nèi)。可用于TEM樣品的原位提取，半導(dǎo)體器件的納米探測，納米材料樣品的微納操縱等。

MM3A微納操縱儀

功能：用于SEM,FIB和其他顯微平臺(tái)下的納米級(jí)顯微操縱。微鑷子，弱電流測量屏蔽，旋轉(zhuǎn)，微力測量等插件進(jìn)一步拓展MM3A的功能。

功能插件（Plug-in Tools）：

Microgripper微鑷子

Rotationaltip 旋轉(zhuǎn)臂

Lowcurrent measurement kit 弱電流測量屏蔽套件

Microsoldering unit 微焊接

Microinjector微注射

GasInjection System 氣體注射系統(tǒng)

Forcemeasurement system 微力測量

產(chǎn)品特點(diǎn)（Features）：

納米級(jí)精度，厘米級(jí)工作范圍

定位的長期穩(wěn)定性，“零"漂移

可適用于各種SEM/FIB顯微平臺(tái)，包括Load lock

豐富的功能插件

技術(shù)參數(shù)（Specifications）

尺寸：62.1（L）*20.4（W）*25.4mm（H）

重量：45g

操縱范圍：12mm（C軸）, 240o(A,B軸)

位移速度：≥2 mm/s（C軸），≥10 mm/s（A,B軸）

分辨率：0.05nm（C），0.25nm（B），0.5nm（A）

保持力：1N

保持扭矩：3-4Nmm

探針電流范圍：10 nA to 100 mA

最大探針電壓：100V

真空度：10-7 mbar

應(yīng)用領(lǐng)域（Application）：

原位提取（In-situ lift-out）

納米探測（NanoProbing）

微納操縱（NanoManipulation）